前期我們講解了化學氣相沉積法和真空熱鍵法兩種制備纏繞膜的方法,今天我們再給大家講解濺射鍵膜法和凝膠法制備纏繞膜材料的方法,機用纏繞膜和手用纏繞膜均適用于這些方法制備。
一、濺射鍵膜法
濺射就像是把一個球扔到一條碎石路上,石頭就會被打掉,靶前的等離子體相當于一個球體,束表面的原子相當于礫石,濺射原子在靶對面的基極上沉積了一層膜,
由于靶區較大,光源的類比相當于表面光源,一般可以得到厚度均勻的纏繞膜,將靶置于陰極中,將基板置于陽極中,在陰極中加入負直流高壓電流,以激發工作氣氛中的等離子體濺射。
隔緣材料濺射的解決方案是在犧牲材料和基板之間施加射頻交流電場,在交流電場的負半周期中,等離子體中的正離子轟擊材料,而在正半周期中,電子被吸引到表面以中和正電荷。
如果在勒的周圍加入一個設計的恒磁場,電子和高密度等離子體在目標表面附近結合,從而使正離子有益地轟擊目標表面,則濺射速度會顯明增加,基底溫度也會減低,從而達到AVO的目的,除去高能電子在基底上的轟擊,這種方法叫做濺射鍵膜法。
濺射鍵膜法的優點是:機用纏繞膜和手用纏繞膜基附著性好,晃動以保持化合物和合金的成分比。但需要濺射靶材,靶材需要細化,利用率低,不易使用掩模沉積,主要用于表面拋光、電子工業、保護膜、鐘表玻璃、裝飾及光學工業等。
二、凝膠法
凝膠法是以高化學活性組分為前驅物,在液相中均勻地混合這些原料,進行水解和縮合反應,在溶液中形成穩定的透明溶膠體系,緩慢地聚合膠粒。ES的溶膠形成三維空間網絡結構凝膠,通過干燥和燒結制備凝膠,以制備分子等結構材料。
溶膠-凝膠法的優點是原料為液體,易于精制,獲得均勻、純度好的纏繞膜。缺點是定要進行高溫熱處理才能得到所需的材料。溶膠-凝膠法常用于玻璃、陶瓷、塑料涂層、催化劑層、光學層等。
下一條: 兩種制備纏繞膜材料的方法介紹
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